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超精密光学镜片生产厂家跟你说说光学镀膜的工艺

2021-08-30 10:48:56

光学镀膜是在高真空镀膜室中实现的。传统的光学镀膜工艺需要提高基板温度(一般为300℃左右);更先进的技术,如离子辅助沉积 (IAD),可以在室温下进行。IAD 工艺不仅可以生产出比传统涂层工艺更好的物理性能的薄膜,而且还可以应用于由塑料制成的基材。


电子束蒸发、IAD 沉积、光控、加热器控制、真空控制和自动过程控制的控制模块都在镀膜机的前面板上。两个用于光学镀膜的电子枪源位于基板的两侧,由环形盖包围并由挡板覆盖。离子源在中间,光控窗在离子源的前面。

光学镀膜生产厂家

光学镀膜的行星系统是一种确保蒸发材料均匀分布在夹具区域的方法。定影装置围绕公共轴旋转,同时也围绕自身的轴旋转。光学镀膜光控和晶控位于行星传动机构的中间,而传动轴则屏蔽了晶控。背面的大开口通向额外的高真空泵。基板加热系统由 4 个石英灯组成,真空室的每侧各两个。


传统的光学镀膜沉积方法是热蒸发,或者使用电阻加热蒸发源或者电子束蒸发源。光学镀膜的特性主要取决于沉积原子的能量。离子源将来自离子枪的离子束引导至基板表面并生长光学涂层,以改善传统电子束蒸发的光学涂层特性。


光学镀膜的折射率、吸收率和激光损伤阈值等性能主要取决于薄膜的微观结构。光学镀膜材料、残余气压和基材温度都可能影响薄膜的微观结构。如果基材表面气相沉积原子的迁移率低,则光学涂层将包含微孔。当薄膜暴露在潮湿空气中时,这些孔会逐渐充满水蒸气。球面镜也是。


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